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      • 2004

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      FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM,ISO15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
      FS4001系列气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
      FS4003/08系列气体质量流量传感器是专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,不需要旁路设置,压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控,也可用于环境检测行业(如大气采样器)和分析仪器(如色谱分析仪)等。FS4003,管道内径为3mm,测量范围最大到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008,管道内径为8mm,测量范围最大到50SLPM;可用于气体测量和控制设备、麻醉机、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。
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      矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )
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